Uα-1L 氣體減壓器
進(jìn)口壓力:300psig｜出口壓力:-25inHg~0~30psig 30、60、100、150psig｜
材質(zhì):316L（VIM+VAR）｜
工作溫度-10℃~60℃
產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹 |
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| Uα-1L氣體減壓器專為超高純氣體，半導(dǎo)體級(jí)工藝氣體設(shè)計(jì)，滿足超大規(guī)模集成電路的使用要求。 | |
主要部件材料 |
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| 閥體 | 316L（VIM+VAR） |
| 膜片 | UNS N06022 |
| 閥針 | 316L（VIM+VAR）/ UNS N10276 |
| 密封墊 | PCTFE / PI |
| 手柄 | ABS |
| 閥蓋 | 316L |
工作條件 |
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| 進(jìn)口壓力 | 300psig |
| 出口壓力 | -25in Hg~0~30psig,30,60,100,150psig |
| 原壓變動(dòng) | 0.7psig / 100psig |
| 工作溫度 | -10 ～ 60℃ |
| 內(nèi)漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 外漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 流量系數(shù) | 0.15 |
| 內(nèi)表面粗糙度 | Ra ≤ 0.1μm |
產(chǎn)品特點(diǎn) |
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| 適用于VMB、VMP | |
| 提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項(xiàng) | |
| 每臺(tái)減壓器進(jìn)行單獨(dú)的壓力測(cè)試、功能測(cè)試、氦質(zhì)譜泄漏測(cè)試和顆粒物檢測(cè) | |
| 內(nèi)部無彈簧，內(nèi)部死體 積小，減少了顆粒物的存留 | |
| 束縛膜片結(jié)構(gòu)，增加安全性 | |
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2024-11-21
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氣體管閥件
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