DPH系列氣動隔膜閥
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產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
DPH 系列氣動隔膜閥，膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，超低漏率，超長使用壽命，穩(wěn)定快速的側(cè)進氣執(zhí)行機 構(gòu)；適用于超高純 度氣體，半導(dǎo)體用（毒、腐）氣體，滿足超大規(guī)模集成電路的工藝氣體要求。
主要部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
工作條件
工作壓力 真空至 300psig
爆破壓力 3000psig
流量系數(shù) 0.5
工作溫度 -10 ～ 70℃
內(nèi)漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra≤0.1μm
產(chǎn)品特點
適合超高純度氣體應(yīng)用
Ni-Co alloy /UNS R30003 材料膜片
快速、可重復(fù)執(zhí)行的氣動執(zhí)行機構(gòu)
每臺閥門進行單獨的氦質(zhì)譜檢測
超長使用壽命（400 萬次實驗值）
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2024-11-21
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