Xα-2H 氣體減壓器

進口壓力:3500psig｜出口壓力:30、60、100、150psig｜材質(zhì):316L｜工作溫度-10℃~60℃

類別：

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品介紹
Xα-2H 氣體減壓器。雙級膜片式結(jié)構(gòu)設(shè)計，硬密封結(jié)構(gòu)，內(nèi)部電解拋光處理；高壓輸入，低壓標準流量輸出，輸出壓力穩(wěn)定；適用于半導(dǎo)體級高純氣體、毒性、腐蝕性、易燃易爆氣體等。
主要部件材料
閥體	316L/316L（VIM+VAR）
膜片	UNS N06022
閥針	316L / UNS N10276
密封墊	PCTFE / PI
手柄	ABS
閥蓋	316L
工作條件
進口壓力	3500psig
出口壓力	30,60,100,150psig
原壓變動	0.025psig/100psig 0.075psig/100psig（B2H6/NF3）
工作溫度	-10 ～ 60℃
內(nèi)漏率	≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率	≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
流量系數(shù)	0.05
內(nèi)表面粗糙度	Ra ≤ 0.1μm
產(chǎn)品特點
適用于特氣柜
提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項
每臺減壓器進行單獨的壓力測試、功能測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測
膜片與閥體之間采用金屬對金屬密封設(shè)計，密封性能極好