MGDS隔膜閥
產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
MGDS 隔膜閥，膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，超低漏率；適用于超高純度氣體，半導(dǎo)體用（毒、腐）氣體，滿足一體化氣體分配系統(tǒng)的使用。
主要部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
工作條件
工作壓力 150psig
爆破壓力 450psig
流量系數(shù) 0.1/0.3HF
工作溫度 -10 ～ 80℃
內(nèi)漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
產(chǎn)品特點(diǎn)
適用于一體化氣路分配系統(tǒng)
每臺(tái)閥門進(jìn)行單獨(dú)氦質(zhì)譜泄漏測(cè)試
超長(zhǎng)使用壽命
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2024-11-21
關(guān)鍵詞：
氣體管閥件
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