產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
MGDS 配套專用墊片支撐組件、螺釘遵循 SEMI 標(biāo)準(zhǔn),滿足一體化氣體分配系統(tǒng)的使用。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、采用 316L(VIM+VAR) 材質(zhì)
2、設(shè)計(jì)壓力 5000psig
3、漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
4、規(guī)格 1.125C-SEAL
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2024-11-21
關(guān)鍵詞:
氣體管閥件
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